". EUV litografija leidžia mums padaryti lustai su funkcija dydžių, kad yra pakankamai maža, kad palaikytų 10 GHz taktinį dažnį. Tai nebūtinai padaryti tai atsitiks, " Donas Svynis, EUV litografija programa vadybininkas Lawrence Livermore National Laboratory (llnl), sakė. " Pirmas dalykas, mes turime padaryti, tai integrinių grandynų iki 30 nanometrų, o EUV litografija aiškiai padaryti. " Palyginimui, mažiausias grandinė, kuri gali būti sukurta giliai ultravioletinių litografijos yra 100 nanometrų.
2001 m balandžio mėn EUV Uždaroji akcinė bendrovė (UAB EUV) pristatė pirmąjį pilno masto prototipų EUV litografijos aparatas. EUV LLC yra konsorciumas susideda iš kai kurių pirmaujančių pasaulio chipmakers ir trys JAV Energetikos departamentas mokslinių tyrimų laboratorijose. Nariai yra Intel, AMD, IBM, Micron, Infeneon ir "Motorola". Šios bendrovės dirba su Virtual National Laboratory, sudaryta iš Sandia National Laboratories ", Lawrence Livermore National Laboratory Lawrence Berkeley nacionalinės laboratorijos. Iš būdama šio konsorciumo narys privalumas yra turintys pirmąjį prioritetą naudoti šią naują technologiją
Dabar pažiūrėkime, kaip EUVL veikia
EUVL procesas
Štai kaip EUVL veikia:..
- lazerio yra nukreiptas iš ksenono dujų srove. Kai lazerio hitai ksenono dujų, ji šildo dujų aukštyn ir sukuria plazmą.
- Kai plazmos yra sukurta, elektronai ima pleiskanoti jį ir jis spinduliuoja šviesą 13 nanometrų, kurie yra per trumpas žmogaus akis pamatyti.
- šviesos keliauja į kondensatorių, kuris surenka šviesoje, kad jis yra nukreipiamas į kaukę.
- iš vieno lygio kompiuterio luste atstovavimas yra raštuotas ant, taikant absorberį į kai veidrodį dalių, bet ne su kitais veidrodį. Tai sukuria kaukę.
- ant kaukės modelis atsispindi ant keturių iki šešių kreivų veidrodžių serijos, sumažinti vaizdo dydį ir dėmesio vaizdą ant silicio plokštelių. Kiekvienas veidrodis vingiu šviesą šiek tiek, kad susidarytų vaizdą, kuris bus perkeliamas ant vaflių. Tai kaip, kaip jūsų fotoaparato apšvietimo kampas lęšiai suformuoti apie filmą vaizdą.
Pasak Sweeney, visas procesas remiasi bangos. Jei padarote bangos ilgis trumpas, gausite geresnį įvaizdį. Jis sako, kad galvoti apie vartojate dar nuotrauka su kamera
". Jeigu vartojate kažką nuotrauka, atvaizdo kokybė priklauso nuo daugelio dalykų, &q
